加圧吸着の英語

表面が吸着面である誘電体ブロック２２内に設けられた一対の吸着電極２３，２４に吸着電源３が電圧を印加して吸着面に静電気を誘起することで、板状対象物９が静電吸着される。例文帳に追加

An attraction power supply 3 applies voltages to a pair of attraction electrodes 23 and 24 provided in a dielectric block 22 having an attracting surface to induce static electricity on the attracting surface, thereby electrostatically attracting the plate-like object 9. - 特許庁

基板２等を吸着する吸着孔１０が開口した吸着面１４を備える吸着ステージにおいて、吸着面１４上の基板２等を封入する蓋体３を備え、蓋体３に加圧した気体を充填した。例文帳に追加

The suction stage provided with a suction surface 14 having a suction hole 10 opened thereon for sucking the substrate 2 etc. is provided with a cover 3 for sealing the substrate 2 etc. on the suction surface 14, and the cover 3 is filled with a pressurized gas. - 特許庁

静電吸着用電極に静電吸着用電圧を印加する際に、基板から静電吸着電極を介してアースに漏れる電流を１ｍＡ以下に維持して行う静電吸着用電圧印加方法。例文帳に追加

Also, at the time of applying the voltage for the electrostatic attraction to the electrode for the electrostatic attraction, a current leaking from the substrate through the electrostatic attraction electrode to the ground is maintained at or below 1mA. - 特許庁

本発明の切断装置用移送ユニットは、カッティング対象物を真空吸着する吸着部と吸着部の吸着方向と反対方向にカッティング対象物を加圧する加圧部とを具備する。例文帳に追加

The conveying unit for the cutting apparatus includes: a suction part for vacuum-sucking an object to be cut; and a pressing part for pressing the object to be cut to the direction opposite to the sucking direction of the suction part. - 特許庁

被加工物１０を減圧吸着する減圧吸着部材２０と、被加工物１０を減圧吸着部材２０に向かって押圧する押圧部材３０とを台座４０の上に備える。例文帳に追加

The machining device includes a pressure-reduction suction member 20 for pressure-reduction sucking a workpiece 10 and a pressing member 30 for pressing the workpiece 10 toward the pressure-reduction suction member 20 on a pedestal 40. - 特許庁

ウエハを静電吸着する静電吸着装置であって、ウエハ搬送手段からウエハを静電吸着させる手段へウエハを受け渡す時の静電吸着させる手段への印加電圧に対して、吸着動作が完了した後の印加電圧を少なくする。例文帳に追加

In the electrostatic adsorption device for electrostatically adsorbing a wafer, an application voltage after the completion of adsorbing operation is reduced relatively to an application voltage to a means for electrostatically adsorbing the wafer from a wafer conveying means at the time of delivering the wafer to the electrostatic adsorption means. - 特許庁

記録装置および搬送ベルトの静電吸着用電圧印加方法例文帳に追加

RECORDING DEVICE AND VOLTAGE APPLICATION METHOD FOR ELECTROSTATIC ATTRACTION OF CARRYING BELT - 特許庁

この窒化アルミニウム焼結体を被吸着体を吸着する誘電体層２として用い、その下に設けられた電極３に電圧を印加することにより被吸着体１０を吸着する。例文帳に追加

The aluminum nitride sintered compact is used as a dielectric layer 2 for absorbing a body 10 to be adsorbed, and the body 10 to be adsorbed is adsorbed by applying voltage to an electrode 3 provided below the dielectric layer 2. - 特許庁